全景圖 PV RMS
小分區(qū)檢測信息
地型圖分類(提高制程良率)
小分區(qū)-點(diǎn)與點(diǎn)高低差糾錯(cuò)研發(fā)利器
雙光譜共焦-測基礎(chǔ)晶圓片-厚度 TTV/PV/LTV(局部厚度變化) 翹曲度(WARP) 可使用面積(Usable area)
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