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設備應用:德國米銥雙光譜共焦、測基礎(chǔ)晶圓片-厚度
測試范圍:TTV、PV、LTV(局部厚度變化)、彎曲度(BOW)、翹曲度(WARP)、直徑
使用面積:2mm*2mm(可設≥0.5mm*0.5mm)